アクティブ除振ユニット【空圧制御】
- 性能・特長
- 仕様・規格
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A TYPE
低荷重用 制振重視タイプ
垂直方向及び水平方向の空気ばねにジンバルピストンを組み込み、それぞれの空気ばねをサーボ弁にてアクティブ制御しています。アクチュエータに空気ばねを使用しており、大きな制御力が得られますので制振に適しています。
B TYPE
高荷重用 制振重視タイプ
垂直方向の空気ばねを多段構造に配置することにより小フットプリント化を実現しました。さらに、空気ばねの空気室を極力小さくすることにより制振性能を向上しています。
制振性能
Aタイプの性能例です。
従来の制御方法に比べ、当社の独自技術であるフィードバックKEAP制御(FBKEAP)、
フィードフォワードKEAP(FFKEAP)では、ステージ移動時の振幅も小さく、さらに移動後も瞬時に目標位置へ収束します。関連リンク