製品情報

アクティブ除振ユニット【リニアモーター制御】

LS TYPE

独自の制御方式で優れた除振&制振性能

リニアモーター式により空気消費量が少なく除振性能に優れます※1。高周波域まで制御可能。ジンバルピストン内蔵※2、優れた除振性能を発揮します。

※1:LC TYPEはエアを使用しません。

※2:LS TYPE、LH TYPE

  • カタログダウンロード
  • 図面・選定表ダウンロード

※図面・選定表の閲覧にはログインが必要です。

  • 性能・特長

  • 仕様・規格

  • 主な用途

  • LS TYPE

    LS TYPE

    • ・Lシリーズのフラグシップタイプ
    • ・FB・FF制御により優れたアクティブ除振性能を
      発揮。

    LS TYPEの上下・水平方向グラフ

    EST-L5SR 4ユニット/搭載質量 800kg時

    LH TYPE

    LH TYPE

    • ・ドームジンバルピストンとコイルばねの
      ハイブリッド構造。
    • ・小フットプリントを実現。
    • ・高重心装置に最適。

    LH TYPEの上下・水平方向グラフ

    EST-L6HF-L 4ユニット/搭載質量 1900kg時

    LC TYPE

    LC TYPE

    • ・垂直FB、水平FB、FF等の必要機能を選択可能。
    • ・必要機能を選択することにより、
      リーズナブルな価格でアクティブ除振を実現。
    • ・エア源が不要。

    LC TYPEの上下方向グラフ

    EST-L100C 4ユニット/搭載質量 400kg時

  • LS TYPE

    LS TYPEの外形図

    LS TYPEの仕様表

    ※1:コントローラ、電源ユニットは別置きです。

    ※2:空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。アイソレータ1基あたりです。

    LH TYPE

    LH TYPEの外形図

    LH TYPEの仕様表

    ※1:コントローラ、電源ユニットは別置きです。

    ※2:空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。アイソレータ1基あたりです。

    LC TYPE

    LC TYPEの外形図

    LC TYPEの仕様表

    ※1:□□は、制御方法組合せ記号

    ※2:FBコントローラ内蔵、電源ユニット、FFコントローラ別置きです。

    ※3:搭載質量はアイソレータ1基あたりです。

    • FBV:フィードバック 垂直
    • FBH:フィードバック 水平
    • FFZ:フィードフォワード 垂直
    • FFX:フィードフォワード 水平X
    • FFY:フィードフォワード 水平Y

    コントローラ・電源ユニット

    • コントローラ LS/LHタイプ用コントローラ
      LS/LHタイプ用
    • 電源ユニット LS/LHタイプ用電源ユニット
      LS/LHタイプ用
    • FFコントローラ LCタイプ用(オプション)FFコントローラ
      LCタイプ用
      (オプション)
    • 電源ユニット LCタイプ用電源ユニット
      LCタイプ用

    コントローラ/電源ユニット 仕様表

    ※AC85-264V 単相50Hz/60Hz

  • LS TYPE

    • ・走査型電子顕微鏡
    • ・走査型プローブ顕微鏡
    • ・表面検査装置 など

    LH TYPE

    • ・透過型電子顕微鏡
    • ・走査型電子顕微鏡 など

    LC TYPE

    • ・汎用走査型電子顕微鏡
    • ・表面検査装置 など