製品情報

パッシブ除振ユニット

パッシブ除振ユニット

コンパクトで高度な除振性能を実現した
ジンバルピストン機構

除振機能は実績ある(ドーム)ジンバルピストン機構を採用し、水平方向にすぐれた除振性能を発揮します。また、大きなタンク容量を確保した構造ですので鉛直方向の除振性能も優れています。さらには、可変オリフィス機能により除振性能と制振性能とのバランスを最適にチューニングすることが可能です。

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  • 性能・特長

  • 仕様・規格

  • 設計の自由度を高める豊富なラインナップ。
    全サイズ、作動高さが185mmで統一。

    パッシブ除振ユニット ラインナップ

    優れた除振性能

    鉛直、水平両方向ともに低い固有振動数を実現しました。

    パッシブ除振ユニットのグラフ

    可変オリフィス機能付き

    除振性能と減衰性能とのバランスを最適にチューニングすることが可能です。

    パッシブ除振ユニットのグラフ

    快適環境へのこだわり(クリーンルーム対応)

    集中排気バルブを採用。クリーンな環境での作業を実現。非作動時に金属接触がないため発塵が少量です。

    精密レベリングバルブ付き(オプション)

    精密レベリングバルブ

    レベリング精度±0.05~0.1mmを実現します。

    ボディカラーを選択可能(オプション)

    ご希望の色に変更可能です。ご相談ください。(アイボリー/ブルーから選択)

    サポートバルブシステム[PAT.P]

    サポートバルブシステム[PAT.P] 測定モデル

    ステージ等の大きな重心移動をともなう装置を除振する場合、ステージの傾きを素早く水平復帰させるため大量のエアーを給排気する素早い制御が必須条件となります。 それを可能にしたのがサポートバルブシステムです。

    サポートバルブシステム[PAT.P] 測定結果

  • パッシブ除振ユニット 外形図

    パッシブ除振ユニット 仕様表

    パッシブ除振ユニット 仕様表

    • ※ドームジンバルピストン仕様は水平方向のばね定数が非常に低いため、重心が高い搭載機器の
      重心移動がともなう装置の場合は適用できないことがあります。当社にご相談ください。