アクティブ除振ユニット【リニアモーター制御】
アクティブ除振ユニット【リニアモーター制御】
リニアモーター式により空気消費量が少なく除振性能に優れます。※LC TYPEはエアを使用しません。
高周波域まで制御可能。
ジンバルピストン内蔵、優れた除振性能を発揮します。※LS TYPE、LH TYPE
LS
LS

特　長

●Lシリーズのフラグシップタイプ
●FB・FF制御により優れたアクティブ除振性能を発揮。

対象装置

走査型電子顕微鏡・走査型プローブ顕微鏡・表面検査装置　etc

振動伝達率

EST-L5SR　4ユニット/積載質量　800kg時
LS
LH
LH

特　長

●ドームジンバルピストンとコイルばねのハイブリッド構造。
●小フットプリントを実現。
●高重心装置に最適。

対象装置

透過型電子顕微鏡・走査型電子顕微鏡 etc

振動伝達率

EST-L6HF-L　4ユニット/積載質量　1900kg時
LH
LC
LC

特　長

●鉛直FB、水平FB、FF等の必要機能を選択可能
●必要機能を選択することにより、リーズナブルな価格でアクティブ除振を実現。
●エア源が不要。

対象装置

汎用走査型電子顕微鏡・表面検査装置　etc

振動伝達率

EST-L100C　4ユニット/積載質量　400kg時
LC
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