製品情報

アクティブ除振ユニット【空圧制御】

B TYPE

独自の制御方式で優れた除振&制振性能

独自のKEAP制御、非連成制御、ステージフィードフォワード制御により、 全周波数での優れた除振性能、外力に対する制振性能を提供します。

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  • 性能・特長

  • 仕様・規格

  • A TYPE

    A TYPE

    低荷重用 制振重視タイプ

    垂直方向及び水平方向の空気ばねにジンバルピストンを組み込み、それぞれの空気ばねをサーボ弁にてアクティブ制御しています。アクチュエータに空気ばねを使用しており、大きな制御力が得られますので制振に適しています。

    B TYPE

    B TYPE

    高荷重用 制振重視タイプ

    垂直方向の空気ばねを多段構造に配置することにより小フットプリント化を実現しました。さらに、空気ばねの空気室を極力小さくすることにより制振性能を向上しています。

    制振性能

    Aタイプの性能例です。
    従来の制御方法に比べ、当社の独自技術であるフィードバックKEAP制御(FBKEAP)、
    フィードフォワードKEAP(FFKEAP)では、ステージ移動時の振幅も小さく、さらに移動後も瞬時に目標位置へ収束します。

    A TYPEのステージ移動による変位のグラフ

  • A TYPE

    A TYPEの仕様書

    ※空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。アイソレータ1基あたりです。

    B TYPE

    B TYPEの仕様書

    ※空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。アイソレータ1基あたりです。

    コントローラ・電源ユニット

    • コントローラ A/Bタイプ用コントローラ
      A/Bタイプ用
    • 電源ユニット A/Bタイプ用電源ユニット
      A/Bタイプ用

    仕様表

    ※AC85-264V 単相50Hz/60Hz