精密减振技术
地板的振动用于半导体和液晶制造检测设备，
未传递给超精密加工机等精密设备的技术
什么是减震?
隔振是防止地板产生的振动传递到车载设备的过程。
该设备由弹性体支撑，以减少地板的振动。
减振原理
(图1) 空气弹簧减振台
空气弹簧减振
- ・如果您不想将地板振动传递给精密仪器，则需要使用减震器。
- ・减振器通常由空气弹簧支撑。(图1)
- ・减振器由三个以上的空气弹簧支撑。
- ・根据减振台承受的载荷确定空气弹簧的尺寸。
- ・空气弹簧越柔软 (共振频率越低) ，性能越高，减振范围越大。
振动传递率
- ・减振台上的振动与地板的振动之比称为振动传递率。(图2、3)
- ・如果振动传输率大于0dB,则为谐振区，并且振动放大。
- ・如果振动传递率小于0dB,则为去振域，振动降低。
- ・振动传递率达到峰值的频率称为固有频率。
(图2) 除振模型
(图3) 振动传递率的公式
水平减振
- ・振动不仅是上下方向，还有水平方向、旋转方向共计6个自由度。
- ・普通膜片式空气弹簧的水平固有频率是上下方向的数倍，容易对设备造成影响。
- ・不仅是上下方向，降低水平方向的固有频率也很重要。
被动固有技术
万向节活塞
Stable减振台在膜片式空气弹簧的活塞中装有万向节机构。
特性
- ・紧凑结构
- ・提供柔软的水平弹簧特性。可以获得与上下方向相同的减振效果。
圆锥活塞
通过在万向节活塞的负载盘的顶面上安装球形滚柱，圆顶万向节活塞具有比万向节活塞低得多的弹簧特性。
万向节活塞 1.2Hz
圆顶万向节活塞 0.8Hz
特性
- ・它比双层结构更便宜，性能更好。
※重心高的搭载机器的情况下也有不适用的情况，所以请咨询本公司。
主动固有技术
主动减振器的控制
减振性能
除振分为用加速度传感器检测装置或平台的振动并进行控制的反馈和检测地板振动并进行控制的前馈。仓敷化工两种都是标准装备。
减振性能
制振也大致分为反馈和前馈。反馈通过位移传感器控制位移。前馈分为FFKEAP控制 (对反复干扰有效) 和MFF (运动前馈) (对随机干扰有效) 。前馈是可选的。
非耦合控制
它是一种控制，可以有效地将传感器的输入信号分配给四个脚而不浪费。
减振性能
上图显示了在微小振幅地板振动下测量的性能示例。
通过在空气弹簧优异的隔振性能基础上加入主动控制，消除共振，实现全频率范围内的隔振。
- ・不受控制时（被动）
仅空气弹簧 - ・控制中（主动）
反馈控制+前馈控制
随机舞台运动的减振
MFF (运动前馈) 是一种基于先前输入的工作台移动信息的振动估计方法，当工作台的移动是随机的时，该方法在减震器或设备振动之前开始控制。
/仓敷化工株式会社